Pusvadītāju ražošanā vafeļu tīrīšana ir viens no vissvarīgākajiem posmiem, kas nosaka mikroshēmas ražīgumu un veiktspēju. Tā kā tehnoloģiju mezgli turpina sarukt, prasības tīrīšanas procesiem ir sasniegušas nepieredzētu stingrību. Lai gan tradicionālā RCA vafeļu tīrīšana joprojām ir mitrās tīrīšanas stūrakmens, -kas efektīvi noņem neorganiskos piesārņotājus un daļiņas,-tā saskaras ar ievērojamām problēmām, novēršot sarežģītus organiskos atlikumus un žāvējot trauslās struktūras.
Šeit augstas veiktspējas{0}}hidrofluorēteris (HFE) pierāda savu vērtību. Kā būtisks īpašs šķīdinātājs mūsdienu pusvadītāju tīrīšanas procesos, HFE piedāvā precīzu, videi draudzīgu un ļoti efektīvu risinājumu. Šajā rakstā ir uzsvērts, kā HFE 347 var uzlabot pusvadītāju plāksnīšu tīrīšanu, kalpojot kā jaudīgs papildinājums un jauninājums tradicionālajām metodēm.
Parastās tīrīšanas robežas un HFE stratēģiskā loma
Klasiskais RCA vafeļu tīrīšanas process ir balstīts uz augstas{0}}temperatūras, augstas-tīrības ūdens ķīmiskajiem šķīdumiem (piemēram, SC-1, SC-2). Lai gan tas lieliski noņem jonus, metāliskus piesārņotājus un daļiņas, šim procesam ir divi raksturīgi ierobežojumi:
Ierobežota efektivitāte pret specifiskiem organiskiem piesārņotājiem, piemēram, fotorezista atlikumiem, vakuumsūkņu eļļām, silikona smērvielām un uzlabotām smērvielām no precīzijas komponentiem.
"Ūdens" žāvēšanas izaicinājums: ūdens augstais virsmas spraigums rada kritisku risku pēdējā žāvēšanas fāzē, bieži izraisot raksta sabrukumu un ūdenszīmju paliekas, īpaši uz konstrukcijām ar augstu -malu{1}}attiecību.
HFE 347 kā uzlabots hidrofluorētera šķīdinātājs risina šos sāpju punktus tieši ar tā unikālajām fizikāli ķīmiskajām īpašībām, pozicionējot sevi kā ideālu līdzekli "precīzai sausai-slapjai tīrīšanai".
Septiņas galvenās HFE 347 priekšrocības vafeļu tīrīšanā
HFE 347 integrēšana vafeļu tīrīšanas procesā nodrošina šādas galvenās priekšrocības:
Izcila žāvēšanas veiktspēja "nulles{0}}defektu" rezultātam
Ar ārkārtīgi zemu virsmas spraigumu un augstu gaistamību HFE 347 iztvaiko pilnīgi bez atlikumiem, būtiski novēršot raksta sabrukumu un ūdenszīmes,-kas nav sasniedzams ar pēc-RCA tīrīšanas ūdens žāvēšanu.
Lieliska materiālu saderība
Saudzīgs pret vafelēm, metāliem, keramiku un lielāko daļu polimēru, tas novērš koroziju vai bojājumus, nodrošinot, ka tīrīšanas procesā netiek radīti jauni defekti.
Mērķtiecīga tīrīšanas jauda
Izcilā šķīdība PFPE (perfluorpoliētera) vakuumsūkņu eļļām, smērvielām, noteiktiem fotorezista atlikumiem un organiskajām daļiņām padara to par izvēlētu šķīdinātāju šo specifisko piesārņotāju noņemšanai.
Augsta procesa elastība
Savietojams ar iegremdēšanu, izsmidzināšanu, tvaiku attaukošanu un citām vafeļu tīrīšanas metodēm. Īpaši piemērots precīzu detaļu un kameras komponentu tīrīšanai bezsaistē, novēršot piesārņojuma pārnešanu uz plāksnēm.
Vides un drošības atbilstība
Ir nulles ODP (ozona noārdīšanas potenciāls) un zems GWP (globālās sasilšanas potenciāls), kas atbilst stingriem vides noteikumiem. Tā zemā toksicitāte un ne{1}}uzliesmojamība uzlabo darbības drošību.
Azeotropu veidošanās spēja
Var veidot azeotropus maisījumus ar spirtiem (piem., IPA), nodrošinot "viena-soļa" tīrības-un-sausu procesu: vispirms izšķīdiniet organiskos piesārņotājus, pēc tam iztīriet ar tīru HFE 347, lai nodrošinātu perfektu žāvēšanu, ievērojami racionalizējot darbplūsmu.
Samazināts ūdens un notekūdeņu patēriņš
Kā šķīdinātājs, kas nav -ūdens, HFE 347 samazina atkarību no īpaši tīra ūdens un samazina slogu, kas saistīts ar dārgu-notekūdeņu attīrīšanu.
HFE 347 integrēšana jūsu tīrīšanas darbplūsmā
HFE 347 nav paredzēts, lai aizstātu RCA tīrīšanas procesu, bet gan lai to lieliski papildinātu:
Pirms{0}}tīrīšanas: noņem organiskos piesārņotājus no plāksnīšu turētājiem, robotu rokām vai kameras daļām, lai novērstu savstarpēju-piesārņojumu.
Kā pēc-procesa tīrīšana: efektīva pēc litogrāfijas, kodināšanas vai CMP, lai noņemtu noteiktus organiskos atlikumus un daļiņas, īpaši uz ūdens jutīgām struktūrām.
Kā žāvēšanas līdzeklis: izmanto pārvietošanas žāvēšanai pēc pēdējās skalošanas ar ūdeni{0}}uzticama metode uzlaboto mezglu modeļu aizsardzībai.
RCA standarta mitrās tīrīšanas un HFE šķīdinātāja tīrīšanas salīdzinājums
| Funkcija | RCA standarta mitrā tīrīšana | HFE šķīdinātāja tīrīšana |
|---|---|---|
| Vidēja | Ūdens ķīmiskie šķīdumi (spēcīgas skābes, bāzes, oksidētāji) | Organiskais fluorētera šķīdinātājs (nav{0}}ūdens) |
| Primārais mehānisms | Spēcīgas ķīmiskās reakcijas (oksidēšana, kompleksēšana, kodināšana) | Galvenā Fizikālā šķīdināšana, vāja ķīmiskā mijiedarbība |
| Mērķa piesārņotāji | Neorganiskie piesārņotāji (metālu joni, daļiņas), organiskās atliekas | Īpaši organiskie piesārņotāji (smērvielas, sveķi, fotorezisti utt.) |
| Žāvēšanas izaicinājums | Nozīmīgs izaicinājums: augsts ūdens virsmas spraigums noved pie ūdenszīmēm un raksta sabrukšanas, tādēļ ir nepieciešamas īpašas žāvēšanas metodes, piemēram, IPA žāvēšana ar tvaiku vai Marangoni žāvēšana. | Raksturīgā priekšrocība: zems virsmas spraigums un liela nepastāvība nodrošina pašžūstību-bez atlikumiem-. |
| Videi{0}}draudzīgums un drošība | Izmanto lielu daudzumu augstas{0}}tīrības ķīmisko vielu un īpaši tīru ūdeni, radot ievērojamus notekūdeņus attīrīšanai. | Vienkāršāka ķīmisko vielu pārvaldība, lai gan jāņem vērā GOS emisijas. |
Pamatinformācija par HFE-347
|
Ķīmiskais nosaukums: |
1,1,2,2-tetrafluoretil-2,2,2-trifluoretilēteris |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MW: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Ķīmiskās īpašības |
|
|
Vārīšanās temperatūra |
56,2 grādi |
|
blīvums |
1.487 |
|
refrakcijas indekss |
1.276 |
|
Īpatnējais smagums |
1.487 |
|
CAS datu bāzes atsauce |
406-78-0 (CAS datu bāzes atsauce) |
|
EPA vielu reģistra sistēma |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Pārbaudes preces |
Specifikācijas |
|
Izskats |
Dzidrs bezkrāsains šķidrums |
|
Tīrība |
Lielāks vai vienāds ar 99,5% |
|
Ūdens |
Mazāks par vai vienāds ar 100 ppm |
Pamatojoties uz Mūra likumu, pusvadītāju plāksnīšu tīrīšana vairs nav tikai netīrumu noņemšana-tā ir nanometru-mēroga precīza inženierija. HFE 347 ir inteliģents risinājums mūsdienu pusvadītāju ražošanas problēmām, apvienojot mitrās tīrīšanas efektivitāti ar perfektu sausās apstrādes galapunktu.
Kā uzticams HFE piegādātājs mēs nodrošinām HFE 347 ar īpaši augstu tīrības pakāpi un konsekvenci no partijām-līdz{2}}, nodrošinot, ka jūsu vafeļu tīrīšanas process paliek stabils, uzticams un efektīvs. Neatkarīgi no tā, vai izstrādājat nākamās-paaudzes mikroshēmas vai optimizējat ražošanas līnijas ražīgumu, tas ir procesa partneris, uz kuru varat paļauties.
Sazinieties ar mums jau šodien, lai uzzinātu vairāk par HFE hidrofluorēteru HFE347!
Mūsu adrese
Room 1102, Unit C, Xinjing Center, Nr.25 Jiahe Road, Siming District, Xiamen, Fujan, Ķīna
Tālruņa numurs
+86-592-5803997
E{0}}pasts
susan@xmjuda.com
