FFKM ir augstas veiktspējas blīvējuma materiāls. Tā lieliskā veiktspēja ir ļāvusi tās pielietojumam iekļūt visā pusvadītāju izstrādājumu ražošanas sistēmā. Starp tiem FFKM blīvgredzeni ir viens no galvenajiem palīgmateriāliem, kas nepieciešami integrālo shēmu ražošanai.
FFKM struktūra un darbības raksturlielumi
FFKM kopolimerizē ar tetrafluoretilēnu (TFE), perfluoralkilvinilēteri (PAVE) kā galvenos monomērus un nelielu daudzumu sacietēšanas punkta monomēra (CSM). Kā parādīts attēlā zemāk, visi polimēra oglekļa atomi Visi ūdeņraža atomi uz gumijas ir aizstāti ar fluora atomiem, padarot to par gumiju, kas vispār nesatur CH saites.
Galvenās FFKM veiktspējas iezīmes:
1) Fizikālās īpašības
FFKM blīvums ir 1.9-2.0g/cm³. Tā parastās temperatūras mehāniskās īpašības ir tuvas tām, kas piemīt fluorkaučukam, kura pamatā ir vinilidēna fluorīds (VDF), bet augstas temperatūras mehāniskās īpašības ir labākas nekā fluorkaučukam.
2) Ķīmiskā izturība
FFKM molekulārajā ķēdē nav ūdeņraža atomu, un CC saites pamatā ieskauj apvalks, kas sastāv no F atomiem, kas parāda spēcīgu ķīmisko inerci un padara polimēru ievērojami izturīgu pret ķīmiskām vielām.
3) Augstas un zemas temperatūras izturība
FFKM darba temperatūra parasti ir 260–290 grādi, un to var periodiski izmantot augstā 316 grādu temperatūrā. Tā kā molekulu zaru ķēdēs tiek ievadīts liels skaits -OCF3 grupu, tiek uzlabota molekulu elastība un uzlabota gumijas izturība pret zemu temperatūru.
4) Plazmas pretestība
Plazmas vidē tam piemīt augsta tīrība un zems nokrišņu daudzums, un tas var izturēt plazmas bombardēšanu ilgu laiku.
fFKM'S lietojumprogrammas pusvadītājos
Pusvadītāju ražošanā elastomēru blīvējumu uzticamība ir ļoti svarīga, jo ražošanas apturēšana, lai nomainītu blīves, ir ārkārtīgi dārga. Lai izvairītos no iespējamiem riskiem, prasības attiecībā uz plombu tīrību un tīrību ir ļoti stingras. Tajā pašā laikā blīvēm jāspēj ilgstoši darboties augstas temperatūras, augsta vakuuma un kodīgu ķīmisko gāzu spiediena vidē.
Attiecībā uz pusvadītāju lietojumiem FFKM galvenokārt koncentrējas uz:
1) Gāzes blīvējums: pusvadītāju ražošanas procesā dažādu gāzu apstrāde un transportēšana ir būtiska. FFKM O gredzenu izmanto gāzes cauruļvadu, vārstu un savienojumu blīvēšanai, lai nodrošinātu, ka gāze nenoplūst un saglabātu procesa stabilitāti.
2) Kodināšana un tīrīšana: kodināšanas un tīrīšanas posmos pusvadītāju procesos bieži tiek izmantotas kodīgas vielas, piemēram, spēcīgas skābes vai sārmi. FFKM O gredzens tiek plaši izmantots aprīkojuma daļās, kas saskaras ar šiem materiāliem, piemēram, kodināšanas kamerās, tīrīšanas tvertnēs utt., pateicoties to lieliskajai izturībai pret koroziju.
3) Šķidrumu un ķīmisko vielu transportēšana: Pusvadītāju ražošanā ir jāpārvadā dažādi šķidrumi un ķīmiskas vielas, piemēram, šķīdumi, šķīdinātāji, tīrīšanas šķidrumi utt. FFKM O gredzenu var izmantot, lai noslēgtu iekārtas sastāvdaļas, piemēram, caurules, vārstus un sūkņus, lai nodrošinātu droša mediju piegāde.
4) Augstas temperatūras vide: noteiktas pusvadītāju procesa darbības ir jāveic augstas temperatūras vidē, piemēram, termiskā apstrāde, atkausēšana utt. FFKM O veida gredzeniem ir lieliska augstas temperatūras izturība, un tie spēj saglabāt savu elastību un blīvējumu. īpašības augstā temperatūrā.
5) Īpaši tīra ūdens apstrāde: pusvadītāju ražošanā īpaši tīru ūdeni izmanto iekārtu un materiālu tīrīšanai un attīrīšanai. FFKM O-gredzeni tiek plaši izmantoti īpaši tīra ūdens attīrīšanas iekārtu blīvēšanai, lai novērstu piemaisījumu un piesārņotāju iekļūšanu.
FFKM gumijas izejvielu augsto izmaksu dēļ darba apstākļi, kuros parasti tiek izmantotas FFKM blīves, ir ārkārtīgi skarbi. Šajos skarbajos darba apstākļos citas gumijas ir pakļautas korozijai, pietūkumam, šķīdināšanai, novecošanai un sacietēšanai utt., Izraisot blīvējuma bojājumus, un tāpēc tās nevar izpildīt blīvējuma prasības. Pateicoties lieliskajai izturībai pret koroziju un izturību pret augstu temperatūru, FFKM gumija var ne tikai izpildīt blīvēšanas prasības skarbos darba apstākļos, bet arī palielināt blīvējumu kalpošanas laiku un samazināt klientu uzturēšanas izmaksas.
